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波長色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評估的X射線熒光分析儀同時對各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無損、非接觸式分析。這是一種波長色散X熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。

日本理學(xué)連續(xù)波長色散X射線熒光光譜儀ZSX Primus 400專為處理非常大或重的樣品而設(shè)計，非常適合分析濺射靶材、磁盤，或用于多層薄膜計量或大型樣品的元素分析。

理學(xué)波長色散型X射線熒光光譜儀Simultix 15是一種用于分析物質(zhì)成分的儀器。它利用X射線與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的特征性熒光輻射進(jìn)行分析。

德國斯派克X熒光光譜儀采用與斯派克公司高性能實驗室用臺式熒光光譜儀相同的小型低能量的X射線管，保證了準(zhǔn)確的離子激發(fā)效果。特殊開發(fā)的SDD檢測器，數(shù)據(jù)采集速度10倍于傳統(tǒng)的檢測器，提高了儀器的分析靈活性。

斯派克 X熒光光譜儀 XEPOS技術(shù)參數(shù)內(nèi)部采用高性能部件，可獲得好的靈敏度和準(zhǔn)確性。采用偏振次級靶以確保*佳激發(fā)，12位樣品自動交換器，預(yù)先安裝好的應(yīng)用軟件包和智能軟件模塊，使SPECTRO XEPOS成為真正的多功能元素分析儀。

多功能偏振型X射線熒光光譜儀具有多達(dá)十幾種校正模式(數(shù)學(xué)模型)(方法)，在定量分析中可充分應(yīng)用，已取得最佳的分析結(jié)果。

能量色散小焦點X射線熒光光譜儀采用空冷、低能量X射線管和高分辨率的檢測系統(tǒng)，集準(zhǔn)直、聚焦、樣品激發(fā)于一體，是功能強大的金屬分析儀SPECTRO MIDEX　適合分析體積很小的稀有金屬或面積較小的樣品。

X射線熒光光譜儀具有創(chuàng)新的光學(xué)上述配置。由于樣品室的維護(hù)，再也不用擔(dān)心被污染的光束路徑或停機時間。光學(xué)元件以上的幾何結(jié)構(gòu)消除了清潔問題并延長了使用時間。